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機(jī)器型號(hào)：                                    EUV-400V

光源類(lèi)型：                                    UV光

燈管規(guī)格 / 數(shù)量：                       15W / 3

曝光時(shí)間：                                    0 ~ 10 min

真空度：                                        ≤－0.7bar

曬板面積（最大）：                    400×200 mm（厚度0.3 ~ 10 mm）

電源：                                            220 ~ 240V  50 / 60Hz  130W

機(jī)器尺寸：                                    520×415×140 mm

機(jī)器重量：

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